簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "電機工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="嵌段共聚物"


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    於定向自組裝多圖案混合式微影中使用多 種嵌段共聚物材質之導引樣板設計技術
    • /105/ 碩士
    • 研究生: 吳國豪 指導教授: 方劭云
    • 定向自組裝多圖案混合式微影(directed selfassembly technology with multiple patterning lithography)非常適用於製造 10 奈米以下…
    • 點閱:252下載:1

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    針對定向自組裝技術考慮導引樣板和冗餘導通孔插入之細部繞線
    • /105/ 碩士
    • 研究生: 林昆霖 指導教授: 方劭云
    • 定向自組裝 (directed self-assembly technology) 的技術在10 奈米以 下的導通孔 (contact/via) 的製造上展現了其優勢,為了讓導通孔有 足夠的重疊精度…
    • 點閱:404下載:4

    3

    針對片狀自組裝技術使用多圖案微影與自對齊導通孔製程之導引模板設計
    • /108/ 碩士
    • 研究生: 石安傑 指導教授: 方劭云
    • 使用嵌段共聚物(block copolymers, BCP)的定向組裝技術 (Directed self-assembly, DSA)已經是一項具有發展性的光刻技術,可以在集成電路上生成微小的圖像。…
    • 點閱:335下載:0
    • 全文公開日期 2025/07/20 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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